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等离子化学气相沉积设备

发布日期:2011-09-20

(16)等离子化学气相沉积设备

单位名称:上海应用技术学院
仪器名称:等离子化学气相沉积设备设备编号20082367
仪器英文全称:Plasma-Enhanced Chemical Vapour Deposited Machine
所属类别:
 
国别: 中国制造厂商上海总光科技公司供货商:
维修站: 地址: 电话: 
规格型号:非标购置日期:2008年11月1日
先进程度:
 
原值金额(万元)56.50币种:
 
外币折合成当时的人民币值(万元): 
主要技术指标:
本体真空0.00001pa(0~700℃)
主要附件:
 
功能/应用范围:
材料表面清洗、刻蚀、沉积。
服务领域:
 
每年可供对外服务300机时上年对外服务: 机时接待时间:周一~周五
收费标准:每样品 300每小时占用费100
所在部门: 材料工程学院部门联系人:贾润萍联系电话:64942815
操作人员:1
姓名出生年月学历专业职称技术等级 有何擅长
贾润萍1974年6月博士材料学副教授 纳米材料
       
       
技术特色:
 


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